[發明專利]制造摻雜高揮發性異物的硅單晶的方法有效
| 申請號： | 200310104772.1 | 申請日： | 2003-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN1498988A | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發明（設計）人： | 馬丁·韋伯;彼得·維爾茨曼;埃里希·格邁爾鮑爾;羅伯特·沃爾布希納 | 申請（專利權）人： | 瓦克硅電子股份公司 |
| 主分類號： | C30B15/04 | 分類號： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 過曉東 |
| 地址： | 聯邦德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 摻雜 揮發性 異物 硅單晶 方法 | ||
【說明書】：
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