[其他]掃描式投影光刻機物鏡在審
| 申請號： | 101985000004369 | 申請日： | 1985-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN85104369B | 公開（公告）日： | 1988-06-29 |
| 發明（設計）人： | 王之江 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 上海82*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 投影 光刻 物鏡 | ||
【權利要求書】：
1、一種用于掃描式投影光刻機的單心式物鏡，由球面主反射鏡1、球面付反射鏡2和校正透鏡3組成，其特征在于所說的校正透鏡為一球殼形透鏡，由共同的球心向外依次配置所說的球殼形校正透鏡、球面付反射鏡和球面主反射鏡並滿足下列關系：
r2＝（0.44～0.53）r1
r3＝（0.26～0.39）r1
s＝（0.02～0.03）r1
d1＝r1-r2
d2＝r1-r3
其中r1、r2分別是球面主反射鏡和球面付反射鏡的曲率半徑，r3和s分別為球殼形校正透鏡的曲率半徑和厚度，d1為球面主反射鏡到球面付反射鏡之間的距離，d2為球面主反射鏡到球殼形校正透鏡的距離。〈DP〉
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