[其他]氣體分析儀

在審

• 申請號: 101985000004270
• 申請日: 1985-06-05
• 公開（公告）號: CN85104270B
• 公開（公告）日: 1987-03-04
• 發明（設計）人: 青木潤次;小島建之助
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 王彥斌;石小梅

一種氣體分析儀，在從光源出發經過氣體容器至傳感器的多條光路上都備有光闌孔；在各自的光路上還裝有多層干涉帶通濾光片，這種結構形式有可能用來改變每個傳感器與相應的光闌孔之間的距離，或者變化該光闌孔的大小，為的是改變檢測光對于干涉濾光片的最大入射角，從而改變于涉濾光片的透過率最大的波長。

本發明所涉及的氣體分析儀，是在從光源出發經過氣體容器而延伸至探測器的光路上裝有多層干涉濾光片的氣體分析儀。

氣體分析儀中使用的多層干涉濾光片，通常都是帶通濾光片，對于這種帶通濾光片來說，重要的是要有一個特定波長作為中心波長，因為這個特定的中心波長也就是適用于裝有該濾光片的氣體分析儀的工作波長，這種帶通濾光片的制造方法，一般是在濾光片的基片上真空蒸鍍大約一百層差不多為0.05微米厚的薄膜，為了得到所需要的特定的中心波長，此膜層厚度的制造精度要求不低于0.5%。

從制造技術的觀點考慮，對于這種多層膜干涉濾光片來說，要制造具有特定中心波長的濾光片是困難的，而且實際上這種特定波長只有在制成之后才能確定。因此，可用的多層干涉濾光片的數量是非常有限的，只要中心波長稍一偏離所需要的波長，就要把濾光片報廢，因而這種制造工藝的濾光片成品率很低，多層干涉濾光片通常都是很昂貴的，低成品率的結果使每個可用的濾光片的制造成本更高。

本發明是基于多層干涉濾光片的性質而提出的，它利用了光透過濾光片的光的入射角發生變化時，透過率最大的波長隨之發生改變的性質。

本發明的目的就是為了提供一種氣體分析儀，甚至當干涉濾光片的中心波長不同于該分析儀所要求的特定波長時，通過將濾光片的透過率最大的波長改變到所需要的特定波長上，使該分析儀能夠使用。

為了達到以上目的，本發明所述的氣體分析儀，至少備有一個光闌孔和至少裝有一個多層干涉濾光片，光闌孔是沿著光軸的方向配置的，-光軸就是從光源出發經過氣體容器而連接至少一個探測器的直線;而多層干涉濾光片所處的位置，應能使探測器與光闌孔之間的距離在光軸方向上是可變的。

通過本發明，就使從氣體容器中出射的光對于濾光片的最大入射角有可能進行調整，因而，中心波長與所需要的波長的任何差異就可以被消除。這樣做的結果，使得中心波長在較寬范圍內偏離所要求的中心波長的濾光片有可能使用;因此，用上述方法制造多層干波濾光片的成品率就會顯著地提高，制造可用濾光片的成本也就會降低。

由于多層干涉濾光片的透過率最大的波長可以改變，舉例來說，就有可能提高丙烷和正己烷之間的相對靈敏度，改進CO₂的校準曲線。

這里介紹的本發明的目的以及另外一些目的，從以下的詳細說明和舉例中可以明顯地看出來。

圖1為按照本發明提供的氣體分析儀實施例的剖視圖。

圖2為圖1所示的氣體分析儀傳感器的剖視圖，它表示傳感器是如何運動的。

圖2（a）～2（c）為光闌孔限定裝置實施例的局部剖視圖。

圖3（a）和3（b）表示當傳感器處于不同位置時，多層干涉濾光片上光的最大入射角度的變化。

圖4為解釋透過率最大的波長與多層干涉濾光片上光的最大入射角之間關系的曲線。

圖5為另一種形式的實施例，其中的光闌孔是可以移動的。

圖6為又一種形式的實施例，其中的光闌孔直徑是可以變化的。