[其他]對(duì)模糊現(xiàn)象不敏感的圖象傳感器及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 101985000001868
• 申請(qǐng)日: 1985-04-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN85101868B
• 公開(kāi)（公告）日: 1988-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮑德金斯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 菲利普光燈制造廠
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 許新根

1、圖象傳感器是由第一導(dǎo)電型半導(dǎo)體襯底組成，襯底上有許多第一導(dǎo)電型連接表面的溝道區(qū)域，這些溝道區(qū)與襯底表面上的電極系統(tǒng)相垂直，工作時(shí)，在溝道區(qū)域中收集和傳輸電荷，這些溝道區(qū)由第二導(dǎo)電型連接表面的溝道隔離區(qū)相互分開(kāi)，并且進(jìn)一步和相對(duì)表面平行延伸的第二導(dǎo)電型半導(dǎo)體區(qū)相連接，其特征是：溝道區(qū)摻雜濃度超過(guò)半導(dǎo)體區(qū)的摻雜濃度，而半導(dǎo)體區(qū)本身的摻雜濃度又超過(guò)半導(dǎo)體襯底的摻雜濃度，半導(dǎo)體區(qū)的厚度沿溝道區(qū)垂直方向變化，在溝道中心達(dá)到最小值。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖象傳感器，其特征是：在溝道區(qū)的中心斷開(kāi)半導(dǎo)體區(qū)，并在此切槽。

3、根據(jù)權(quán)利要求2中所述的圖象傳感器，其特征是：槽在與溝道區(qū)相垂直的方向的尺寸大于半導(dǎo)體區(qū)厚度的二分之一，并正好沿溝道隔離區(qū)的旁邊測(cè)得。

4、根據(jù)權(quán)利要求1、2或3中所述的圖象傳感器，其特征是：溝道隔離區(qū)在其垂直方向的尺寸小于溝道區(qū)厚度的4倍，并正好沿溝道隔離區(qū)的旁邊測(cè)得。

5、一種制造本發(fā)明的圖象傳感器的方法，其特征是：

在由第一導(dǎo)電型半導(dǎo)體襯底上通過(guò)具有以固定相對(duì)中心距離延伸的窗口的第一次掩模進(jìn)行擴(kuò)散雜質(zhì)的方法來(lái)提供第二導(dǎo)電型區(qū)，然后通過(guò)以同樣固定相對(duì)中心距離延伸的窗口的第二次掩模來(lái)提供構(gòu)成溝道區(qū)的第一導(dǎo)電型區(qū)，第二次掩模安排成使得溝道區(qū)在第二導(dǎo)電型區(qū)之間的一半處形成。

6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征是：

進(jìn)行兩次擴(kuò)散，以使第二導(dǎo)電型區(qū)彼此不接觸，并由第一導(dǎo)電型區(qū)將其分開(kāi)。