[其他]一種光電定心及測量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 101985000001621
• 申請(qǐng)日: 1985-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN85101621B
• 公開（公告）日: 1988-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周長新;劉自能
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 代理公司: 中國科學(xué)院長春專利事務(wù)所
• 代理人: 王立偉

本發(fā)明是一種定中心檢測透鏡偏心差的裝置。主要是為了提高光電定心法的靈敏度與精度。其主要技術(shù)特征是采取分光調(diào)制的方法，用普通硅光電池作為接收元件，并采用零位平衡法，通過測量分光元件位移的數(shù)字量來測定偏心差。本發(fā)明的目的是為了解決高精度鏡頭的磨邊、膠合定中心及鏡頭裝配定心，本裝置測量偏心差精度可達(dá)１μｍ。它也可作為精密測角裝置。

本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域是一種定心與檢測透鏡偏心差的裝置。用于光學(xué)另件磨邊、膠合和裝配等工藝過程中的定心或另件加工過程中的中心誤差檢測。該裝置也可用于角度高精度測量。

隨著近代空間光學(xué)、微電子學(xué)和激光技術(shù)的發(fā)展，對(duì)光學(xué)另件精度的要求越來越高，各種高性能物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)對(duì)透鏡偏心差要求很嚴(yán)，達(dá)微米（或弧秒）數(shù)量級(jí)。因而世界各國很重視高精度定心方法與儀器的研究，光電法定心已為國外普遍采用。但迄今為止，國外研制生產(chǎn)的光電定心裝置，一般精度均在10″左右，還不能滿足高精度要求。如美國Bausch Lomb公司研制的透反射式激光干涉光電自動(dòng)定中心裝配儀，定心精度為8″〔美國專利3 542 476〕;英國SIRA和Ealing-Beck公司研制生產(chǎn)的Sira-Beck光電定中心儀，精度可達(dá)10″〔Sira Ealing Beck公司產(chǎn)品樣本〕;法國光學(xué)理論與應(yīng)用研究所研制的反射式光電定心儀，定心精度可達(dá)5″〔法國專利2340 534〕;西德LOH光學(xué)機(jī)床廠生產(chǎn)的M，激光光電定中心裝置，精度為10″。以上所采用的方案，對(duì)偏心差訊號(hào)的光電變換及處理的方法，幾乎都是用四象限硅光電池作為接收元件，把光斑分割成四部分，直接放大對(duì)頂角二個(gè)象限的光電訊號(hào)之差，測得偏心差大小。當(dāng)采用直流放大器時(shí)，由于零飄和噪音影響，難以獲得高穩(wěn)定性與高靈敏度，這是已有技術(shù)存在的缺點(diǎn)。

本發(fā)明的目的是為了克服已有技術(shù)的缺點(diǎn)，尋求高精度光電定心裝置，以滿足科研生產(chǎn)中高性能鏡頭對(duì)光學(xué)工藝的要求。例如大規(guī)模集成電路制造用的超微精縮鏡頭;平視場復(fù)消色差高倍顯微鏡;空間像機(jī)鏡頭等，其成像分辨率幾乎接近衍射極限，偏心差要求達(dá)1-2μm。本發(fā)明所提供的裝置可達(dá)到如上量級(jí)的精度要求。

光電定心及測量裝置是一種用于透鏡定中心和測量透鏡中心誤差的光電變換裝置。應(yīng)用雙光路零位平衡法來實(shí)現(xiàn)光電定心和測量它由分光調(diào)制、光電變換、主電路和光柵數(shù)字顯示等部分所組成。