[其他]極高真空分離規

在審

• 申請號: 101985000000570
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN1003331B
• 公開（公告）日: 1989-02-15
• 發明（設計）人: 唐政清;陳洪元;陸祖宏
• 申請（專利權）人: 南京工學院
• 代理公司: 南京工學院專利事務所
• 代理人: 樓高潮

極高真空分離規是一種測量真空的規管。本發明是由圓錐狀鼠籠式柵極，錐形引出極。圓筒形反射極，環形燈絲，短收集極所組成，并利用真空管導作為外屏，使其靈敏度提高，降低光電流本底，加上自調制方法的應用，致使其測量下限拓寬到１０↑［－１４］托（等效氮壓）為極高真空的測量、尖端科學的發展，提供了良好的條件。

本發明是一種測量真空的規管。

1965年P.A.Redhcad提出的分離規，其測量下限為10^-12托（等效氮壓）數量級，它是由螺旋柵極，V形燈絲，平板引出極，碗形反射極，短收集極所組成。另外西德Lebold-Heraeus公司生產的分離規由鼠籠柵極，環形燈絲，平板引出極，碗形反射極，短收集極組成，其下限為10^-12托數量級（等效氮壓），清華大學提出的分離規，其下限也在10^-12托數量級（等效氮壓），它是由螺旋柵極，倒J形燈絲，平板引出極，碗形反射極，短收集極所組成。

本發明的目的在于研制一種重復性好、靈敏度高，測量下限能拓寬到10^-14托（等效氮壓）數量級的一種高真空分離規。

本規管從內部電極數目來看與原有分離規一樣，有柵極、燈絲、反射極、收集極。從外部來看本規管是利用真空連接管導作為外屏。本規管的技術特征是：

①有端柵的柵極為圓錐狀鼠籠式。②引出極是錐度為45℃空心圓錐狀。③燈絲為圓環狀。④反射極為空心的收口圓筒狀。⑤收集極為0.1mm的細絲。⑥利用真空連接管導作為外屏。⑦所有電極同軸裝架于金屬陶瓷法蘭芯柱上。

基于以上結構特點，只要使燈絲電位等于或略大于其所處自然電位，則電子振蕩次數增加，且為柵極的中、上部所接收，電子不可能打入引出孔，而圓筒形反射極體使離子的收集效率提高。錐形引出極使離子的引出率提高。致使規管靈敏度提高，光電流本底降低，拓寬了測量下限。

本規管與同類分離規相比的優點是：靈敏度高，靈敏度與電離空間體積的立方根之比也高：測量下限小，引用自調制方法，可測10^-14托（等效氮壓）數量級的壓強。

圖為本發明的結構簡圖的剖面圖。

本發明實現的最好方式是①燈絲2定形，將鎢絲繞于圓筒形45^#鋼模上，燒氫（1000℃，10分鐘），脫模后即可應用。②柵極1制造：將鉭皮做成圓形圈框，裝于柵極模上，再用經真空拉直的鎢絲以2mm間距相平行點焊于圈框上，下端柵點焊成輪輻式，中間留4mm圓孔，上端柵用拉直后鎢絲以2mm間距平行點焊于另一鉭皮圈框上，待柵極裝上芯柱后，再使上端柵與柵極點焊牢。③引出極3，反射極4，由鎳皮用模具壓制而成。④收集極5用鎢絲真空拉直即可。⑤先將收集極點焊于芯柱，套上收集極屏蔽套6，再用保證同心度的模具以次裝架反射極，引出極、柵極、燈絲于法蘭芯柱7上。以真空連接管導作為外屏8。