[其他]極高真空分離規在審
| 申請號: | 101985000000570 | 申請日: | 1985-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN1003331B | 公開(公告)日: | 1989-02-15 |
| 發明(設計)人: | 唐政清;陳洪元;陸祖宏 | 申請(專利權)人: | 南京工學院 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 南京工學院專利事務所 | 代理人: | 樓高潮 |
| 地址: | 江蘇省南京*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 極高 真空 分離 | ||
極高真空分離規是一種測量真空的規管。本發明是由圓錐狀鼠籠式柵極,錐形引出極。圓筒形反射極,環形燈絲,短收集極所組成,并利用真空管導作為外屏,使其靈敏度提高,降低光電流本底,加上自調制方法的應用,致使其測量下限拓寬到10↑[-14]托(等效氮壓)為極高真空的測量、尖端科學的發展,提供了良好的條件。
本發明是一種測量真空的規管。
1965年P.A.Redhcad提出的分離規,其測量下限為10-12托(等效氮壓)數量級,它是由螺旋柵極,V形燈絲,平板引出極,碗形反射極,短收集極所組成。另外西德Lebold-Heraeus公司生產的分離規由鼠籠柵極,環形燈絲,平板引出極,碗形反射極,短收集極組成,其下限為10-12托數量級(等效氮壓),清華大學提出的分離規,其下限也在10-12托數量級(等效氮壓),它是由螺旋柵極,倒J形燈絲,平板引出極,碗形反射極,短收集極所組成。
本發明的目的在于研制一種重復性好、靈敏度高,測量下限能拓寬到10-14托(等效氮壓)數量級的一種高真空分離規。
本規管從內部電極數目來看與原有分離規一樣,有柵極、燈絲、反射極、收集極。從外部來看本規管是利用真空連接管導作為外屏。本規管的技術特征是:
①有端柵的柵極為圓錐狀鼠籠式。②引出極是錐度為45℃空心圓錐狀。③燈絲為圓環狀。④反射極為空心的收口圓筒狀。⑤收集極為0.1mm的細絲。⑥利用真空連接管導作為外屏。⑦所有電極同軸裝架于金屬陶瓷法蘭芯柱上。
基于以上結構特點,只要使燈絲電位等于或略大于其所處自然電位,則電子振蕩次數增加,且為柵極的中、上部所接收,電子不可能打入引出孔,而圓筒形反射極體使離子的收集效率提高。錐形引出極使離子的引出率提高。致使規管靈敏度提高,光電流本底降低,拓寬了測量下限。
本規管與同類分離規相比的優點是:靈敏度高,靈敏度與電離空間體積的立方根之比也高:測量下限小,引用自調制方法,可測10-14托(等效氮壓)數量級的壓強。
圖為本發明的結構簡圖的剖面圖。
本發明實現的最好方式是①燈絲2定形,將鎢絲繞于圓筒形45#鋼模上,燒氫(1000℃,10分鐘),脫模后即可應用。②柵極1制造:將鉭皮做成圓形圈框,裝于柵極模上,再用經真空拉直的鎢絲以2mm間距相平行點焊于圈框上,下端柵點焊成輪輻式,中間留4mm圓孔,上端柵用拉直后鎢絲以2mm間距平行點焊于另一鉭皮圈框上,待柵極裝上芯柱后,再使上端柵與柵極點焊牢。③引出極3,反射極4,由鎳皮用模具壓制而成。④收集極5用鎢絲真空拉直即可。⑤先將收集極點焊于芯柱,套上收集極屏蔽套6,再用保證同心度的模具以次裝架反射極,引出極、柵極、燈絲于法蘭芯柱7上。以真空連接管導作為外屏8。
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