[發明專利]等離子加工系統中帶有沉積罩的上電極板無效
| 申請號： | 03822259.0 | 申請日： | 2003-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN1682342A | 公開（公告）日： | 2005-10-12 |
| 發明（設計）人： | 西本伸也;三橋康至;中山博之 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子 加工 系統 帶有 沉積 極板 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于東京毅力科創株式會社，未經東京毅力科創株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/03822259.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：非織造織物及其制造方法
- 下一篇：飲用水的脫氟離子篩及其制備方法
