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[發明專利]等離子體輔助碳結構的形成無效

專利信息
申請號: 03810273.0 申請日: 2003-05-07
公開(公告)號: CN1652867A 公開(公告)日: 2005-08-10
發明(設計)人: S·庫馬爾;D·庫馬爾 申請(專利權)人: 達納公司
主分類號: B01J19/08 分類號: B01J19/08
代理公司: 北京市中咨律師事務所 代理人: 楊曉光;李崢
地址: 美國俄*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 等離子體 輔助 結構 形成
【權利要求書】:
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