[發(fā)明專利]具有行移透鏡多光束掃描儀的暗場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備及其方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03809048.1 | 申請(qǐng)日： | 2003-03-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1646894A | 公開(kāi)（公告）日： | 2005-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | R·納夫塔利;S·賴因霍恩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料以色列有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N21/00 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 以色列*** | 國(guó)省代碼： | 以色列;IL |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 透鏡 光束 掃描儀 暗場(chǎng) 檢測(cè) 設(shè)備 及其 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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- 同類(lèi)專利
- 專利分類(lèi)
G01 測(cè)量；測(cè)試
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段，即利用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng)，測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段，即利用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng)，測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
