[發(fā)明專利]用于等離子體RF源的度量的多速率處理有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03808081.8 | 申請日： | 2003-04-14 |
| 公開（公告）號： | CN1647237A | 公開（公告）日： | 2005-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 戴維·J·庫穆;邁克爾·L·柯克 | 申請（專利權(quán)）人： | ENI技術(shù)公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H03H7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 | 代理人： | 酆迅 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 等離子體 rf 度量 速率 處理 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于ENI技術(shù)公司，未經(jīng)ENI技術(shù)公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/03808081.8/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 確定RF源與RF接收機之間的RF路徑損耗的系統(tǒng)和有關(guān)方法
- 用于等離子體處理的RF饋電結(jié)構(gòu)
- 用于適配RF傳輸磁場以進行圖像獲取的系統(tǒng)
- RF開關(guān)電路的控制器及RF開關(guān)電路網(wǎng)絡(luò)的控制系統(tǒng)
- RF開關(guān)電路的控制器及RF開關(guān)電路網(wǎng)絡(luò)的控制系統(tǒng)
- 具有相位控制的高效能三線圈感應耦合等離子體源
- 獨立于鄰近度的SAR緩和
- 脈沖雙向射頻源/負載
- 一種低待機電流的汽車遙控控制主機
- 產(chǎn)生經(jīng)調(diào)制的頻率或經(jīng)相互調(diào)制的頻率的射頻產(chǎn)生器
