[發明專利]掩模板及其制造方法無效
| 申請號： | 03807514.8 | 申請日： | 2003-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN1646884A | 公開（公告）日： | 2005-07-27 |
| 發明（設計）人： | 托布喬恩·桑茲特羅姆 | 申請（專利權）人： | 麥克羅尼克激光系統公司 |
| 主分類號： | G01F1/08 | 分類號： | G01F1/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波;侯宇 |
| 地址： | 瑞典*** | 國省代碼： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 模板 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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