[發(fā)明專利]清潔光學(xué)表面的方法和裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03805657.7 | 申請日: | 2003-03-11 |
| 公開(公告)號: | CN1638883A | 公開(公告)日: | 2005-07-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | J·呂德克;C·查策克;A·帕茨迪斯;J·烏爾曼;A·米爾普福爾德特;M·蒂爾;S·維斯納 | 申請(專利權(quán))人: | 卡爾蔡司SMT股份公司 |
| 主分類號: | B08B7/00 | 分類號: | B08B7/00 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 劉維升;馬崇德 |
| 地址: | 德國*** | 國省代碼: | 德國;DE |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 清潔 光學(xué) 表面 方法 裝置 | ||
【說明書】:
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