[發明專利]釕化合物及其制造方法以及采用該化合物得到的含釕薄膜無效
| 申請號： | 03805580.5 | 申請日： | 2003-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN1886412A | 公開（公告）日： | 2006-12-27 |
| 發明（設計）人： | 平社英之;石川雅之;柳澤明男;小木勝實 | 申請（專利權）人： | 三菱麻鐵里亞爾株式會社 |
| 主分類號： | C07F17/02 | 分類號： | C07F17/02;C07F15/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭煜;龐立志 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化合物 及其 制造 方法 以及 采用 得到 薄膜 | ||
【說明書】：
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