[發(fā)明專利]生產(chǎn)線后端數(shù)據(jù)挖掘與處理工具數(shù)據(jù)挖掘的相關(guān)性有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03804918.X | 申請日： | 2003-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN1639854A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | I·拜恩格拉思;A·費里;A·多爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 生產(chǎn)線 后端 數(shù)據(jù) 挖掘 處理 工具 相關(guān)性 | ||
【說明書】：
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 數(shù)據(jù)顯示系統(tǒng)、數(shù)據(jù)中繼設(shè)備、數(shù)據(jù)中繼方法、數(shù)據(jù)系統(tǒng)、接收設(shè)備和數(shù)據(jù)讀取方法
- 數(shù)據(jù)記錄方法、數(shù)據(jù)記錄裝置、數(shù)據(jù)記錄媒體、數(shù)據(jù)重播方法和數(shù)據(jù)重播裝置
- 數(shù)據(jù)發(fā)送方法、數(shù)據(jù)發(fā)送系統(tǒng)、數(shù)據(jù)發(fā)送裝置以及數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)
- 數(shù)據(jù)顯示系統(tǒng)、數(shù)據(jù)中繼設(shè)備、數(shù)據(jù)中繼方法及數(shù)據(jù)系統(tǒng)
- 數(shù)據(jù)嵌入裝置、數(shù)據(jù)嵌入方法、數(shù)據(jù)提取裝置及數(shù)據(jù)提取方法
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- 數(shù)據(jù)發(fā)送和數(shù)據(jù)接收設(shè)備、數(shù)據(jù)發(fā)送和數(shù)據(jù)接收方法
- 數(shù)據(jù)發(fā)送裝置、數(shù)據(jù)接收裝置、數(shù)據(jù)收發(fā)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)發(fā)送方法、數(shù)據(jù)接收方法和數(shù)據(jù)收發(fā)方法
- 數(shù)據(jù)發(fā)送方法、數(shù)據(jù)再現(xiàn)方法、數(shù)據(jù)發(fā)送裝置及數(shù)據(jù)再現(xiàn)裝置
- 數(shù)據(jù)發(fā)送方法、數(shù)據(jù)再現(xiàn)方法、數(shù)據(jù)發(fā)送裝置及數(shù)據(jù)再現(xiàn)裝置
