[發明專利]拋光組合物有效
| 申請號： | 03804313.0 | 申請日： | 2003-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN1635940A | 公開（公告）日： | 2005-07-06 |
| 發明（設計）人： | 徐浩峰;J·匡希 | 申請（專利權）人： | CMP羅姆和哈斯電子材料控股公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/308 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 蔡勝有 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 組合 | ||
【說明書】：
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