[發(fā)明專利]抗蝕劑材料和微加工方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03800287.6 | 申請(qǐng)日： | 2003-02-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1509423A | 公開（公告）日： | 2004-06-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 河內(nèi)山彰;荒谷勝久 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 索尼公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/004 | 分類號(hào)： | G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 抗蝕劑 材料 加工 方法 | ||
【說明書】：
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G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷?；蝾愃朴∷⒛５闹谱?，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷?；蝾愃朴∷⒛５闹谱?，例如，鏤花模版的制作
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