[實用新型]多功能擴散硅壓力傳感器無效
| 申請號： | 03284716.5 | 申請日： | 2003-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN2681108Y | 公開（公告）日： | 2005-02-23 |
| 發明（設計）人： | 唐慧;張治國;陳信琦;鄭東明;劉宏偉;孫海瑋 | 申請（專利權）人： | 沈陽儀表科學研究院 |
| 主分類號： | G01L9/00 | 分類號： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 沈陽科威專利代理有限責任公司 | 代理人： | 崔紅梅 |
| 地址： | 110043遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多功能 擴散 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
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