[實用新型]可程控硅片微區加熱控制器無效
| 申請號： | 03237947.1 | 申請日： | 2003-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN2655310Y | 公開（公告）日： | 2004-11-10 |
| 發明（設計）人： | 林水潮 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | G05D23/19 | 分類號： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所 | 代理人： | 馬應森 |
| 地址： | 361005福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 程控 硅片 加熱 控制器 | ||
【權利要求書】：
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