[發(fā)明專利]基板搬運系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03159314.3 | 申請日： | 2003-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN1532128A | 公開（公告）日： | 2004-09-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 堀卓司 | 申請（專利權(quán)）人： | 三菱電機株式會社 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06;B65G1/10 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 謝喜堂 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 搬運 系統(tǒng) | ||
【說明書】：
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