[發(fā)明專利]制作晶圓試片的方法及評(píng)估光罩圖案間迭對(duì)位準(zhǔn)的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03157469.6 | 申請(qǐng)日： | 2003-09-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1601379A | 公開（公告）日： | 2005-03-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳文彬;蕭智元;毛惠民 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南亞科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/00 | 分類號(hào)： | G03F7/00;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 李強(qiáng) |
| 地址： | 臺(tái)灣省*** | 國省代碼： | 中國臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制作 試片 方法 評(píng)估 圖案 對(duì)位 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于南亞科技股份有限公司，未經(jīng)南亞科技股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/03157469.6/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 一種數(shù)據(jù)庫讀寫分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測(cè)試終端的測(cè)試方法
- 一種服裝用人體測(cè)量基準(zhǔn)點(diǎn)的獲取方法
- 系統(tǒng)升級(jí)方法及裝置
- 用于虛擬和接口方法調(diào)用的裝置和方法
- 線程狀態(tài)監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種JAVA智能卡及其虛擬機(jī)組件優(yōu)化方法
- 檢測(cè)程序中方法耗時(shí)的方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 函數(shù)的執(zhí)行方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 生成評(píng)估方案的方法及裝置
- 一種基于PDCA環(huán)的評(píng)估方法及裝置
- 金融產(chǎn)品評(píng)估系統(tǒng)及方法
- 一種軍事演習(xí)演練量化評(píng)估系統(tǒng)
- 一種通過聲音進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估的方法及裝置
- 一種項(xiàng)目評(píng)估方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種品性循環(huán)評(píng)估方法
- 基于組件的評(píng)估模型裝配方法及系統(tǒng)
- 一種綜合評(píng)估的方法和系統(tǒng)
- 產(chǎn)品的質(zhì)量評(píng)估方法及裝置
