[發明專利]光學接近修正方法有效
| 申請號： | 03154947.0 | 申請日： | 2003-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN1591200A | 公開（公告）日： | 2005-03-09 |
| 發明（設計）人： | 劉淑慧;吳文彬 | 申請（專利權）人： | 南亞科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00;G03F1/08;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 郭定輝;黃小臨 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 接近 修正 方法 | ||
【權利要求書】：
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