[發明專利]改善阻隔壁的厚度均勻性的方法無效
| 申請號： | 03154821.0 | 申請日： | 2003-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN1585066A | 公開（公告）日： | 2005-02-23 |
| 發明（設計）人： | 郭志徹;蕭棋煌;李協恒;陳耀宗;鄭奎文 | 申請（專利權）人： | 東元奈米應材股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J9/02 | 分類號： | H01J9/02;H01J9/24 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;樓仙英 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 改善 阻隔 厚度 均勻 方法 | ||
【說明書】：
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