[發明專利]薄膜去除裝置及薄膜去除方法有效
申請號: | 03154559.9 | 申請日: | 2003-08-15 |
公開(公告)號: | CN1486916A | 公開(公告)日: | 2004-04-07 |
發明(設計)人: | 李昌夏;曹其成;金圣撤 | 申請(專利權)人: | 三星康寧精密琉璃株式會社 |
主分類號: | B65H41/00 | 分類號: | B65H41/00;B65H3/08 |
代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人: | 黃劍鋒 |
地址: | 韓國慶*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 薄膜 去除 裝置 方法 | ||
【權利要求書】:
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