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[發明專利]SiO2襯底上Nd:YVO4光波導薄膜器件及制備無效

專利信息
申請號: 03152810.4 申請日: 2003-08-22
公開(公告)號: CN1487636A 公開(公告)日: 2004-04-07
發明(設計)人: 李錕;祝世寧;王飛燕;朱永元;閔乃本 申請(專利權)人: 南京大學
主分類號: H01S5/20 分類號: H01S5/20;H01L21/02;C23C14/08;C23C14/24
代理公司: 南京知識律師事務所 代理人: 陳建和
地址: 210093*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: sio sub 襯底 nd yvo 波導 薄膜 器件 制備
【說明書】:
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