[發明專利]輻射敏感樹脂組合物，形成有圖案絕緣膜的形成方法，裝配有該膜的有源矩陣板和平板顯示設備，和生產平板顯示設備的方法有效
| 申請號： | 03152470.2 | 申請日： | 2003-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN1479173A | 公開（公告）日： | 2004-03-03 |
| 發明（設計）人： | 小林和樹;迫野郁夫;白木真司;佐佐木寬文;丹羽一明 | 申請（專利權）人： | 夏普株式會社;JSR株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/11;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輻射 敏感 樹脂 組合 形成 圖案 絕緣 方法 裝配 有源 矩陣 平板 顯示 設備 生產 | ||
【說明書】：
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