[發明專利]圖形形成方法和襯底處理裝置無效
| 申請號： | 03150313.6 | 申請日： | 2003-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN1479172A | 公開（公告）日： | 2004-03-03 |
| 發明（設計）人： | 早崎圭;伊藤信一;竹石知之;川野健二;江間達彥 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 | 代理人： | 陳海紅;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖形 形成 方法 襯底 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
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