[發(fā)明專利]用于化學汽相淀積工藝的原材料供給裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03147802.6 | 申請日： | 2003-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN1482083A | 公開（公告）日： | 2004-03-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 姜求永 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | C03B37/012 | 分類號： | C03B37/012;C03B37/018;C23C16/448;G02B6/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 王新華 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 化學 汽相淀積 工藝 原材料 供給 裝置 | ||
【說明書】：
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