[發明專利]等離子體反應室無效
| 申請號： | 03147485.3 | 申請日： | 2003-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN1570773A | 公開（公告）日： | 2005-01-26 |
| 發明（設計）人： | 梁忠棋;張昭升;黃木上;彭順煌 | 申請（專利權）人： | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/36 | 分類號： | G03F7/36;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波;侯宇 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 反應 | ||
【說明書】：
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