[發明專利]壓印掩模光刻無效
| 申請號： | 03142960.2 | 申請日： | 2003-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN1487362A | 公開（公告）日： | 2004-04-07 |
| 發明（設計）人： | C·佩爾洛夫;C·陶西;P·梅 | 申請（專利權）人： | 惠普開發有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;黃力行 |
| 地址： | 美國德*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓印 光刻 | ||
【說明書】：
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