[發(fā)明專利]基板處理裝置及基板處理方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03142780.4 | 申請日： | 2003-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN1468667A | 公開（公告）日： | 2004-01-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 平真樹 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社 |
| 主分類號： | B08B11/00 | 分類號： | B08B11/00;F26B11/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;楊松齡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 處理 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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