[發明專利]固定薄膜濺射用襯底的裝置及用此裝置來固定襯底的方法有效
| 申請號： | 03142457.0 | 申請日： | 2003-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN1462160A | 公開（公告）日： | 2003-12-17 |
| 發明（設計）人： | 姜敞皓;張容源;金兌承 | 申請（專利權）人： | 三星日本電氣移動顯示株式會社 |
| 主分類號： | H05B33/10 | 分類號： | H05B33/10;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 韓國蔚山*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 固定 薄膜 濺射 襯底 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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