[發明專利]具有群組補償能力的曝光系統及方法有效
| 申請號： | 03138635.0 | 申請日： | 2003-05-21 |
| 公開（公告）號： | CN1549057A | 公開（公告）日： | 2004-11-24 |
| 發明（設計）人： | 郭榮治;陳任和 | 申請（專利權）人： | 南亞科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 補償 能力 曝光 系統 方法 | ||
【說明書】：
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