[發(fā)明專(zhuān)利]微鑄碳化硅納米壓印模無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 03133077.0 | 申請(qǐng)日: | 2003-07-24 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN1499289A | 公開(kāi)(公告)日: | 2004-05-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | H·李;G·-Y·容 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 惠普開(kāi)發(fā)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G03F7/00 | 分類(lèi)號(hào): | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 肖春京 |
| 地址: | 美國(guó)德*** | 國(guó)省代碼: | 美國(guó);US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 碳化硅 納米 壓印 | ||
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備





