[發明專利]接觸式MEMS開關壽命測試的方法和儀器無效
| 申請號： | 03116999.6 | 申請日： | 2003-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN1460863A | 公開（公告）日： | 2003-12-10 |
| 發明（設計）人： | 朱榮錦;郭方敏;朱自強;李存詩;賴宗聲 | 申請（專利權）人： | 華東師范大學 |
| 主分類號： | G01R31/327 | 分類號： | G01R31/327 |
| 代理公司： | 上海德昭專利事務所 | 代理人： | 程宗德 |
| 地址： | 200062*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 接觸 mems 開關 壽命 測試 方法 儀器 | ||
【權利要求書】：
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