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[發明專利]新型納米多孔薄膜及其制備方法無效

專利信息
申請號: 03112669.3 申請日: 2003-01-09
公開(公告)號: CN1444292A 公開(公告)日: 2003-09-24
發明(設計)人: 戴松元;王孔嘉;曾隆月;張華 申請(專利權)人: 中國科學院等離子體物理研究所
主分類號: H01L31/042 分類號: H01L31/042;H01L31/18
代理公司: 合肥華信專利事務所 代理人: 余成俊,過錫根
地址: 230031*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 新型 納米 多孔 薄膜 及其 制備 方法
【說明書】:
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