[發(fā)明專利]光致抗蝕劑組合物無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03110718.4 | 申請日： | 2003-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN1527135A | 公開（公告）日： | 2004-09-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | G·N·泰勒;G·G·登 | 申請（專利權）人： | 希普利公司 |
| 主分類號： | G03F7/028 | 分類號： | G03F7/028;G03F7/16;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人： | 戈泊 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光致抗蝕劑 組合 | ||
【權利要求書】：
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