[發明專利]整合集成電路組件和微機電系統的制造方法有效
| 申請號： | 03108501.6 | 申請日： | 2003-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN1533980A | 公開（公告）日： | 2004-10-06 |
| 發明（設計）人： | 江祿山;朱世麟 | 申請（專利權）人： | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;H01L21/70 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;樓仙英 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 整合 集成電路 組件 微機 系統 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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