[發明專利]Ag合金膜以及Ag合金膜形成用噴濺靶材有效
| 申請號： | 03107912.1 | 申請日： | 2003-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN1446941A | 公開（公告）日： | 2003-10-08 |
| 發明（設計）人： | 村田英夫 | 申請（專利權）人： | 日立金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/14 | 分類號： | C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | ag 合金 以及 形成 噴濺 | ||
【說明書】：
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