[發明專利]發光器件制作系統和制作方法有效
| 申請號： | 03106346.2 | 申請日： | 2003-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN1441080A | 公開（公告）日： | 2003-09-10 |
| 發明（設計）人： | 山崎舜平;村上雅一;大谷久 | 申請（專利權）人： | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號： | C23C14/12 | 分類號： | C23C14/12;C23C14/24;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,梁永 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 發光 器件 制作 系統 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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