[發(fā)明專利]成像光學(xué)系統(tǒng)的像差評估方法及其調(diào)整方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03105337.8 | 申請日： | 2003-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN1441236A | 公開（公告）日： | 2003-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 松山知行 | 申請（專利權(quán)）人： | 尼康株式會(huì)社 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 王學(xué)強(qiáng) |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 成像 光學(xué)系統(tǒng) 評估 方法 及其 調(diào)整 | ||
【說明書】：
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