[發明專利]利用間隔體技術的納米尺寸壓印模有效
| 申請號： | 03103150.1 | 申請日： | 2003-01-31 |
| 公開（公告）號： | CN1435728A | 公開（公告）日： | 2003-08-13 |
| 發明（設計）人： | H·李 | 申請（專利權）人： | 惠普公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京,黃力行 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 間隔 技術 納米 尺寸 壓印 | ||
【權利要求書】：
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