[發明專利]大尺寸襯底及其制造方法有效
| 申請號： | 03102309.6 | 申請日： | 2003-01-30 |
| 公開（公告）號： | CN1437045A | 公開（公告）日： | 2003-08-20 |
| 發明（設計）人： | 柴野由紀夫;三原田悟;上田修平;渡部厚;田畑正樹 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/133 | 分類號： | G02F1/133;G02F1/136;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 尺寸 襯底 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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