[發(fā)明專利]半導(dǎo)體設(shè)備制程環(huán)境微震監(jiān)測系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03101986.2 | 申請日： | 2003-01-30 |
| 公開（公告）號： | CN1521478A | 公開（公告）日： | 2004-08-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡宏毅 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺灣奈米科技應(yīng)用股份有限公司 |
| 主分類號： | G01C19/58 | 分類號： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 李強(qiáng) |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體設(shè)備 環(huán)境 監(jiān)測 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 專利分類
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G01C 測量距離、水準(zhǔn)或者方位；勘測；導(dǎo)航；陀螺儀；攝影測量學(xué)或視頻測量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀；使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置；不帶有運(yùn)動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置，例如基于科里奧利力的振動角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運(yùn)動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測量儀
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng)，即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測量儀
G01C 測量距離、水準(zhǔn)或者方位；勘測；導(dǎo)航；陀螺儀；攝影測量學(xué)或視頻測量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀；使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置；不帶有運(yùn)動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置，例如基于科里奧利力的振動角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運(yùn)動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測量儀
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng)，即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測量儀
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