[發明專利]利用機器人分劃板末端執行器來輸送和加裝分劃板所用的方法和裝置有效
| 申請號： | 03101059.8 | 申請日： | 2003-01-09 |
| 公開（公告）號： | CN1433940A | 公開（公告）日： | 2003-08-06 |
| 發明（設計）人： | 格倫·M·弗萊德曼;彼得·克切爾斯伯格;約瑟夫·拉根扎 | 申請（專利權）人： | ASML美國公司 |
| 主分類號： | B65G49/07 | 分類號： | B65G49/07;B65G47/88;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 張祖昌 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 機器人 分劃板 末端 執行 輸送 加裝分劃板 所用 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
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