[發(fā)明專利]含高介電常數(shù)絕緣膜的半導(dǎo)體設(shè)備和該設(shè)備的制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02809631.2 | 申請(qǐng)日： | 2002-08-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1507654A | 公開（公告）日： | 2004-06-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 渡部平司;小野春彥;五十嵐信行 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日本電氣株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/316 | 分類號(hào)： | H01L21/316 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 介電常數(shù) 絕緣 半導(dǎo)體設(shè)備 設(shè)備 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于日本電氣株式會(huì)社，未經(jīng)日本電氣株式會(huì)社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/02809631.2/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：用于窄隙填充用途的介電薄膜
- 下一篇：硅化釕濕法蝕刻
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 用于檢測(cè)半導(dǎo)體設(shè)備的裝置
- 監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備可靠性的方法及其裝置
- 半導(dǎo)體晶體移除設(shè)備和半導(dǎo)體晶體的產(chǎn)生方法
- 具有機(jī)械熔絲的半導(dǎo)體封裝
- 監(jiān)控退火設(shè)備出現(xiàn)小顆粒尺寸缺陷的方法
- 多晶硅柵極關(guān)鍵尺寸的先進(jìn)控制方法
- 具有磁耦合設(shè)備的半導(dǎo)體開關(guān)
- 半導(dǎo)體工藝及半導(dǎo)體設(shè)備
- 半導(dǎo)體設(shè)備封裝及其制造方法
- 半導(dǎo)體微波設(shè)備的控制方法和半導(dǎo)體微波設(shè)備
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備、驗(yàn)證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
- 驅(qū)動(dòng)設(shè)備、定影設(shè)備和成像設(shè)備
- 發(fā)送設(shè)備、中繼設(shè)備和接收設(shè)備
- 定點(diǎn)設(shè)備、接口設(shè)備和顯示設(shè)備
- 傳輸設(shè)備、DP源設(shè)備、接收設(shè)備以及DP接受設(shè)備
- 設(shè)備綁定方法、設(shè)備、終端設(shè)備以及網(wǎng)絡(luò)側(cè)設(shè)備
- 設(shè)備、主設(shè)備及從設(shè)備
- 設(shè)備向設(shè)備轉(zhuǎn)發(fā)
