[發明專利]均勻涂布基片的方法有效
| 申請號： | 02808302.4 | 申請日： | 2002-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN1503928A | 公開（公告）日： | 2004-06-09 |
| 發明（設計）人： | E·古勒;T·鐘;J·劉易冷;E·C·李;R·P·曼達爾;J·C·格拉姆博;T·C·貝特斯;D·R·紹爾;E·R·沃德 | 申請（專利權）人： | 硅谷集團公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;B05D1/00;B05D3/04;B05C11/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民;彭益群 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 搜索關鍵詞： | 均勻 涂布基片 方法 | ||
【權利要求書】：
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