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[發明專利]高重復率紫外準分子激光器無效

專利信息
申請號: 02808154.4 申請日: 2002-02-25
公開(公告)號: CN1507682A 公開(公告)日: 2004-06-23
發明(設計)人: R·W·斯帕羅 申請(專利權)人: 康寧股份有限公司
主分類號: H01S3/22 分類號: H01S3/22;G01N21/59
代理公司: 上海專利商標事務所 代理人: 包于俊
地址: 美國*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 重復 紫外 準分子激光
【說明書】:
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