[發明專利]用于邊緣拋光均勻性控制的設備無效
| 申請號： | 02807536.6 | 申請日： | 2002-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN1500028A | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發明（設計）人： | 許蒼山;杰夫·加斯帕雷奇;羅伯特·塔夫;肯尼思·J·巴勒;保羅·斯塔謝夫茲;埃瑞克·H·恩達爾;特拉維斯·羅伯特·泰勒 | 申請（專利權）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B21/04 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 李輝 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 邊緣 拋光 均勻 控制 設備 | ||
【說明書】：
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