[發明專利]利用偏最小二乘法探測終點的方法和設備有效
| 申請號： | 02807133.6 | 申請日： | 2002-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN1500204A | 公開（公告）日： | 2004-05-26 |
| 發明（設計）人： | 大衛·法特金;岳紅宇 | 申請（專利權）人： | 東京電子株式會社 |
| 主分類號： | G01J3/457 | 分類號： | G01J3/457 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 最小二乘法 探測 終點 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
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