[發明專利]新共聚物及光致抗蝕組合物無效
| 申請號： | 02806936.6 | 申請日： | 2002-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN1498361A | 公開（公告）日： | 2004-05-19 |
| 發明（設計）人： | G·G·巴克雷;R·J·卡瓦納 | 申請（專利權）人： | 希普雷公司 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;C08F20/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 任宗華 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 共聚物 光致抗蝕 組合 | ||
【權利要求書】：
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